一、什么是超純水：
超純水是為了研制超純材料半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等）應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當的超臨界精細技術生產出來的水，其電阻率大于18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm極限值25℃）。簡單得說就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水。這樣的水是一般工藝很難達到的程度，理論上可以采用二級反滲透再經過串聯的混合型交換樹脂柱對二次反滲水進行處理，但是交換樹脂的再生不便，質量難以保證。
二、超純水的應用：
1）電子、電力、電鍍、照明電器、實驗室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗、生物、制藥、石油、化工、鋼鐵、玻璃等領域。
2）化工工藝用水、化學藥劑、化妝品等。
3）單晶硅、半導體晶片切割制造、半導體芯片、半導體封裝、引線柜架、集成電路、液晶顯示器、導電玻璃、顯像管、線路板、光通信、電腦元件、電容器潔凈產品及各種元器件等生產工藝。
三、純水液儲罐箱氮封閥簡介：
純水液儲罐箱氮封閥是一套無需外加能源，利用被調介質本身壓力變化而實現自動調節，使閥后壓力恒定，整機具有動作靈敏、控制壓力波動小、節約能源。ZZYVP-16B、ZZVP-16K純水液儲罐箱氮封閥是一套自力式微壓力控制系統，用于保持容器頂部保護氣(一般為氮氣)的壓力恒定，以避免容器內物料與空氣直接觸，防止物料揮發，被告氧化，以及容器的安全。應用各類大型儲罐的氣封保護系統。當罐內壓力降低時，供氮閥打開補充罐內氮氣壓力；當罐內壓力超高時，泄氮閥打開自動泄壓。始終保護罐內壓力恒定。
純水液儲罐箱氮封閥采用動力源與信號點分開檢測的方法，外加可調節流裝置，使整臺閥門的調節精度大大提高，減壓比最大可達2000:1。廣泛應用于各種氣體減壓穩壓的自動控制場合，特別適合作為氮封的供氮閥使用，具有持續供氮壓力波動小、反應靈敏等特點。
四、超線水箱氮封系統工作原理：
當儲罐出水閥開啟，放料時，液面下降，氣相部分容積增大，罐內氮氣壓力降低，ZZYVP-16B供氮閥開啟，向儲罐注入氮氣，罐內氮氣壓力上升，當罐內壓力上升至供氮閥壓力設定值時，供氮閥自動關閉。
當儲罐進水閥開啟，進料時，液面上降，氣相部份容積減小，罐內壓力升高，當高于ZZVP-16K泄氮閥壓力設定值時，泄氮閥打開，向外界釋放氮氣，罐內氮氣壓力下降，降至泄氮閥壓力設定值時，泄氮閥自動關閉。
五、氮封系統壓力調節閥流體流速的計算方法及選取方式：
在實際應用過程中調節閥的出品流速直接影響著整個控制閥的可靠性、穩定性和使用壽命。閥門出口流速過快，導致高速流動的介質在調節閥中流動時很容易使閥門產生嚴重沖刷和不規則的振動，破壞閥體及內部零件，同時會產生很大的噪聲，因此在調節閥選型過程中，在確定了調節閥型號后，應首先計算一下出口流速（特別介質為氧氣一類時），然后再選擇閥門的口徑和材質。
流速是單位時間內流體的流動速度，調節閥流速一般是指閥門出品介質的流動速度，主要與流體類、閥前后壓差、配管口徑及材料等因素有關，下面簡單介質一下不同流體的流速計算方法及選取原則。
流速計算方法：
1、液體場合
V=0.408×Q/D2
流速V-ft/s；流量Q-usgal/min(GPM)；閥出口直徑D-in。
2、壓縮氣體場合
（1）首先計算音速C
（2）計算調節入口及出口馬赫數
（3）計算流速V
V=cM，其中C-流體音速，ft/s
K-比熱比 g-重力加速度
R-氣體常數 T-流體溫度
A1-閥入口面積 A2-閥出口面積
P1-閥入口壓力 P-閥前后壓差
Cg-氣體流量系數 Cv-氣體流量系數
C1-Cg/Cv Cv-氣體流量系數
M2-出口馬赫數 M1-入口馬赫數
六、規格用技術參數：
主要參數及主要性能指標見表一 表一
| 公稱通徑DN（mm） | 20 | 25 | 40 | 50 | 80 | 100 | 150 | ||||||
| 閥座直徑（mm） | 6 | 15 | 20 | 25 | 32 | 40 | 50 | 65 | 80 | 100 | 125 | 150 | |
| 額定流量系數Kv | 0.32 | 5 | 8 | 11 | 20 | 30 | 48 | 75 | 120 | 190 | 300 | 480 | |
| 壓力調節范圍KPa | 0.1～0.5、0.4～5.0、4.0～12.0、 | ||||||||||||
| 公稱壓力PN（MPa） | 1.6 | ||||||||||||
| 被調介質溫度（℃） | -5～+100 | ||||||||||||
| 流量特性 | 快開 | ||||||||||||
| 調節精度（%） | ≤±5 | ||||||||||||
| 執行機構有效面積（cm2） | 100 | 200 | 280 | 400 | |||||||||
| 信號接口 | 內螺紋M10×1.5 | M16X1.5 | |||||||||||
2、壓力調節范圍見表二 表二
| 壓力調節范圍（KPa） | 指揮器膜室 有效面積（cm2） | 執行機構膜室 有效面積（cm2） | 使用閥門口徑（mm） |
| 0.1～0.5 | 1200 | 100 | 20～32 |
| 0.4～5.0 | 600 | ||
| 4.0～12.0 | 400 | ||
| 0.1～0.5 | 1200 | 200 | 40～50 |
| 0.4～5.0 | 600 | ||
| 4.0～12.0 | 400 | ||
| 0.1～0.5 | 1200 | 400 | 65～100 |
| 0.4～5.0 | 600 | ||
| 4.0～12.0 | 400 | ||
| 0.1～0.5 | 1200 | 600 | 125～150 |
| 0.4～5.0 | 600 | ||
| 4.0～12.0 | 400 |
3、主要零件材料見表三 表三
| 零 件 名 稱 | 材 料 |
| 氣動活塞式執行機構，指揮器 | 組合件 |
| 閥體，閥蓋 | ZG230-450，ZG0Cr18Ni9Ti，ZG0Cr18Ni12Mo2Ti |
| 推桿，閥桿 | 2Cr13，1Cr18Ni9 |
| 閥座 | 1Cr18Ni9Ti |
| 閥芯（軟密封）/填料 | 聚四氟乙烯 |
| 膜片 | 丁腈橡膠夾增強滌綸織物/四氟膜片/氟橡膠膜片 |
| 彈簧 | 1Cr18Ni9Ti、60Si2Mn |
七、壓力調節閥的流量特性：
八、典型的安裝方式：
